Трубчатая печь PECVD
Трубчатая печь PECVD представляет собой трубчатую печь для плазменного газофазного осаждения, которая состоит из кварцевой реакционной камеры, радиочастотного источника питания, многоканальной системы смешивания газов, вакуумной установки и системы управления реакцией. В печи используется материал из волокна оксида алюминия высокой чистоты, а поверхность покрыта импортным высокотемпературным покрытием из оксида алюминия, чтобы продлить срок службы инструмента и повысить эффективность нагрева. Радиочастотное индукционное устройство устанавливается перед традиционным химическим осаждением из паровой фазы для ионизации реакционного газа и генерации плазмы. Высокая активность плазмы ускоряет реакцию. Он обладает хорошей однородностью и повторяемостью, может формировать пленки на большой площади, может формировать пленки при низких температурах, имеет превосходное покрытие ступеней, легко контролирует состав и толщину пленки, а также легко применяется в промышленном масштабе. Он широко используется при выращивании тонких пленок, таких как графен, монооксид кремния, нитрид кремния, оксинитрид кремния и аморфный кремний (A-SI: H).
| Размер трубы печи (ММ) | Рабочая температура (°С) | Степень вакуума | Мощность (КВт) | Напряжение | Нагревательные элементы | Скорость нагрева |
| Φ60*2200 | 1100°С | -0,1 МПа 10ПА 6,67*10- 4ПА | 3 | 220/380В | Провод сопротивления | 1-20°С/МИН |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Введение в Вакуумная термообработка Вакуумная термообработка — это современный металлургический процесс, используемый для улучшения механических свойств и долговечности промышленных компонентов. При нагревании материалов в вакууме окисление и загрязнение сводятся к минимуму, что приводит к точным и стабильным характеристикам материала. Этот метод широко применяется в таких отраслях, как аэрокосмическая, автомобильная, инструментальная и электронная. Повышенная прочность и твер...
