Печная система PECVD
Этот продукт представляет собой выдвижную систему PECVD среднего размера. Эта система трубчатой печи PECVD оснащена плазменным ВЧ-источником питания, трехходовой системой смешивания газов с массовым потоком (с диапазонами 1-100 SCCM, 1-200 SCCM и 1-200 SCCM), открытой трубчатой печью диаметром 60 мм (с вакуумным фланцем и соединительным трубопроводом) и механическим насосом.
Информация о продукции
| Модель продукта | Система выдвижной трубчатой печи PECVD — OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Основные параметры продукта | Электропитание: 220В 50/60Гц; Номинальная мощность: 3,1 кВт; Максимальная рабочая температура: 1200°С (<0,5 ч); Непрерывная рабочая температура: ≤1100°C; Рекомендуемая скорость нагрева: ≤10°C/мин; Длина зоны нагрева: 440 мм; Термопара: К-типа |
| Основные характеристики | Радиочастотный источник питания может обеспечить усиление плазмы и значительно снизить экспериментальную температуру; быстрого подъема и понижения температуры можно добиться, сдвигая корпус печи; напряжение пленки можно контролировать с помощью частоты источника питания RF; стехиометрию можно контролировать путем регулировки процесса; можно наносить различные материалы, такие как SiOx, SiNx, SiOxNy и (a-Si:H). |
| Нагревательный элемент | Проволока из сплава железо-хром-алюминий 0Х21Ал6Нб |
| Размер трубы печи | Диаметр кварцевой трубки опционально: Φ60 |
| Система контроля температуры | В комплект входит регулятор температуры YD858; ПИД-регулирование и самонастройка, интеллектуальное 50-сегментное программируемое управление с функциями сигнализации перегрева и перегорания; Точность контроля температуры: ± 1 ℃ |
| Плазменный ВЧ источник питания | РЧ-блок питания мощностью 300 Вт; Выходная мощность: регулируемая 0–300 Вт; Частота РФ: 13,56 МГц; Автоматическое сопоставление; Уровень шума < 50 дБ; Метод охлаждения: Воздушное охлаждение; Входное напряжение: 180 ~ 250 В |
| Фланцевый интерфейс с вакуумным уплотнением | Стандартная конфигурация: пара вакуумных фланцев из нержавеющей стали и уплотнительных колец из высокотемпературного силикона; выходные фланцы – трехходовые К16, КФ25 и Ф8,2; Выходной фланец можно соединить с адаптером KF25 с помощью сильфона, а затем с вакуумным насосом. |
| вакуумный насос | Примите двойной роторно-лопастной механический вакуумный насос TRP-12; степень вакуума может достигать 10-2торр; Аксессуары для вакуумного подключения оснащены зажимами KF25 и сильфоном из нержавеющей стали для подключения трубчатой печи и вакуумного насоса. |
| Система газоснабжения | Трехходовая система массового смешения - ГИС-3З; Электропитание: 220В 50/60Гц; Диапазоны измерения: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Механический манометр установлен на передней панели и подсоединен к смесительной трубке; Диапазон манометра: -0,1-0,15МПа; Размер смесительного бака: Φ80*120 мм; Внутренняя соединительная труба Φ6,35. |
| Конструкция печи | Корпус печи можно перемещать влево и вправо, а источник радиочастотного питания можно перемещать влево и вправо. Корпус печи и источник ВЧ-питания установлены на одной направляющей и используют одну и ту же кварцевую трубку. |
| Стандарты сертификации и основные компоненты | Основные компоненты всей машины соответствуют стандартам CE, UL, MET и другим сертификационным стандартам; основные компоненты включают электрические компоненты ABB, сертифицированные UL провода и кабели, приборы Omega, Yudian, Continental и т. д. |
Свяжитесь с нами
Чжэцзян Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Чжэцзян Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. была основана в 2015 году. Это профессиональное предприятие, занимающееся разработкой и производством сверхлегких энергосберегающих высокотемпературных материалов, а также продажей экспериментальных электрических печей, промышленных электрических печей и нестандартных электрических печей на заказ. Профессиональные Печная система PECVD Производители и Печная система PECVD ЗаводКомпания придерживается принципа «выживание за счет качества, развитие за счет репутации» и поддерживает деловую философию «практичность, честность и эффективность». Мы стремимся предоставлять комплексные и высококачественные решения по оборудованию для клиентов в таких отраслях, как керамика, металлургия, электроника, стекло и химическая промышленность. Мы также предоставляем услуги по обжигу порошков, спеканию керамики и высокотемпературным экспериментам для университетов, научно-исследовательских институтов и промышленных и горнодобывающих предприятий. В то же время мы также стремимся содействовать стратегическому развитию легкого, энергосберегающего и экологически чистого высокотемпературного глиноземного волокна Nengcheng в области новых печей и стремимся стать ведущим в мире поставщиком услуг в области передового высокотемпературного оборудования. Печная система PECVD На заказ.
Последние новости
-
Введение в Вакуумная термообработка Вакуумная термообработка — это современный металлургический процесс, используемый для улучшения механических свойств и долговечности промышленных компонентов. При нагревании материалов в вакууме окисление и загрязнение сводятся к минимуму, что приводит к точным и стабильным характеристикам материала. Этот метод широко применяется в таких отраслях, как аэрокосмическая, автомобильная, инструментальная и электронная. Повышенная прочность и твер...
